이산화규소 복합 그래픽 사파이어 기판(SiO₂-PSS): 사파이어 패턴 표면에 이산화규소 박막을 증착하여 복합 구조를 형성합니다. 이산화규소의 굴절률(약 1.46)은 사파이어(1.77)와 GaN(2.45) 사이에 위치하여 전반사 손실을 추가로 줄이고 광 추출 효율을 높일 수 있으며, 절연 특성으로 누설 전류를 억제합니다. 단층 PSS에 비해 복합 기판은 에피택셜 성장 균일성을 최적화하고 정전기 내성을 개선하며 공정 호환성이 우수합니다. 고효율 LED 및 Micro LED 분야에 주로 적용되며 더 낮은 광학 손실로 더 높은 휘도를 구현합니다.
| 항목 | 사양 |
| 높이(H) | 1.85~2.05μm |
밑변 폭(W) | F:2.75-2.80μm 4-2:2.80-2.85μm 4-1:2.85-2.90μm E:2.90-2.95μm |
그레이 스케일 | F:90-100 4-2:70-90 4-1:55-70 E:50-55 |
| 패턴 간격(d) | 3±0.05μm |
| 곡률 | ＜0.18μm |
| 평면 각도 | 90° |
| 사파이어 두께 | 0.2-0.3mm |
