그래픽 사파이어 기판(DPSS)

DPSS(건식 식각 그래픽 사파이어 기판)는 플라즈마 건식 식각 공정을 이용해 사파이어 표면에 미세나노 패턴을 제작하는 기술입니다. 대표적인 공정 흐름은 다음과 같습니다. 먼저 사파이어 기판 위에 포토레지스트를 도포하고 포토리소그래피로 패턴을 정의한 뒤, 유도결합 플라즈마(ICP) 등 장비로 반응성 이온 충격을 통해 패턴을 사파이어에 전사하고 마지막으로 잔류 포토레지스트를 제거합니다. 패턴 형상, 크기 및 주기 제어성이 매우 뛰어나며 고종횡비 원추형 등 구조 가공이 가능하고 패턴 균일성과 재현성이 우수하여 LED 에피택셜 결정 품질 및 광 추출 효율 향상에 유리합니다. 발광 효율과 파장 균일성에 대한 요구가 높은 고급 조명, 디스플레이 백라이트 등 분야에 널리 적용되며 현재 고급 PSS의 주요 솔루션 중 하나입니다.